Ön filtreden sonra ince partiküllerin filtrelenmesi için ve kesinlikle kullanılması gereken filtrelerden önce ikincil ya da üçüncül filtre olarak kullanılması tercih edilen filtrelerdir. Ortalama partikül boyutu 1 – 10 aralığında olan partiküllerin filtrelenmesi için kullanılmaktadır.
Endüstriyel tesislerde ve konfor havalandırması için atmosferik havanın filtrelenmesi aşamasında santral içinde son kademe filtre olarak kullanılması gerekmektedir. Bu filtreler;
olarak sıralanabilmektedir. Hassas filtreler sentetik ya da cam elyaf maddesi kullanılarak üretilebilmektedir. Hassas filtreler M5, M6, F7, F8, F9 verimlilik sınıflarına sahiptirler. Düşük başlangıç basıncına ve uzun ömür avantajına sahip olan bu filtreler her ölçü ve ebatta bulunabilmektedir.
Hassas filtreleme gerektiren sistemlerde yüksek filtre yüzeyi alanı elde edilmesi gerektiğinde bu amaç için filtre kağıdının mini pile dizaynı ile katlanması ile çerçeve içerisine yerleştirilmesi ile oluşmaktadır. Hafif ve kompakt bir yapıya sahip olması nedeniyle kullanım avantajı sağlamaktadır.
Hassas filtreler genellikle hastanelerde, ilaç fabrikalarında, kimya tesislerinde ve elektronik sanayisi gibi yüksek verimlilikte filtreleme sistemlerinde ön filtreden hemen sonra hassas filtreleme için kullanılması tercih edilmektedir.
Hassas filtreler ince partikülleri filtrelediğinden en çok hastane, ilaç fabrikası, kimya tesisi ve elektronik sanayisi gibi alanlarda kullanılmaktadır. Hassas filtreler sayesinde kirli hava filtrelenerek dışarıya atılmaktadır.
Hava santrallerinde ve her türlü havalandırma cihazında ön ya da hassas filtreleme amacıyla kullanılan bu filtre üç katmandan oluşmaktadır. Ultrasonik kaynaklı cepler takviye tüpleri ile desteklenen filtreler ince partikülleri filtrelemektedir.
Hassas filtrelerin özelliklerini şu şekilde sıralayabiliriz;